A cikin 'yan shekarun nan, tare da ci gaban fasahar haɗin gwiwar haɗin gwiwar (IC), aikace-aikacen da ke da alaƙa da haɗin gwiwar haɗin gwiwar sun kasance cikin sauri.Ultra high tsarki aluminum gami sputtering manufa, a matsayin goyon bayan abu a cikin masana'antu na hadedde karfe interconnects, ya zama wani zafi batu a cikin gida bincike kwanan nan.edita na RSM zai nuna mana halaye na high tsarki aluminum gami sputtering manufa.
Don ƙara haɓaka haɓakar sputtering na magnetron sputtering manufa da kuma tabbatar da ingancin fina-finai da aka ajiye, babban adadin gwaje-gwajen ya nuna cewa akwai wasu buƙatu don abun da ke ciki, microstructure da ƙwayar hatsi na ultra-high tsarki aluminum gami sputtering manufa.
Girman hatsi da daidaitawar hatsi na manufa suna da tasiri mai yawa akan shirye-shirye da kaddarorin fina-finai na IC.Sakamakon ya nuna cewa adadin ajiyar kuɗi yana raguwa tare da karuwar yawan hatsi;Don maƙasudin sputtering tare da nau'in nau'in nau'in nau'in nau'in nau'in nau'in nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i nau'i)).Da yawan nau'in girman hatsin da aka yi niyya, da yawan kauri na rarraba fina-finan da aka ajiye.
Ƙarƙashin kayan aikin sputtering iri ɗaya da sigogin tsari, ƙimar sputtering na Al Cu alloy manufa yana ƙaruwa tare da haɓakar ƙwayar atomic, amma gabaɗaya yana da ƙarfi a cikin kewayo.Sakamakon girman hatsi akan ƙimar sputtering shine saboda canjin ƙwayar atomic tare da canjin girman hatsi;Adadin ajiya ya fi shafa ta hanyar daidaitawar hatsi na Al Cu gami da manufa.Dangane da tabbatar da adadin (200) jirage masu kristal, haɓakar adadin (111), (220) da (311) jirage masu ƙira zai ƙara yawan adadin kuɗi.
The hatsi Girman da hatsi fuskantarwa na matsananci-high tsarki aluminum gami hari ake yafi gyara da kuma sarrafa ta ingot homogenization, zafi aiki da recrystallization annealing.Tare da haɓaka girman wafer zuwa 20.32cm (8in) da 30.48cm (12in), girman maƙasudin kuma yana ƙaruwa, wanda ke gabatar da buƙatu mafi girma don maƙasudin tsaftataccen tsafta na aluminum gami.Don tabbatar da ingancin fim ɗin da yawan amfanin ƙasa, dole ne a sarrafa ma'aunin sarrafa maƙasudin don yin daidaitaccen tsarin microstructure na manufa kuma dole ne madaidaicin hatsi ya kasance yana da ƙarfi (200) da (220).
Lokacin aikawa: Juni-30-2022